NIKOLA 3K / 5K Energy Efficient Temperature Control for Plasma Etch

SolidStateCoolingSystem 社のペルチェチラーは、冷凍機を搭載していないため、比較的小型で軽量、騒音・振動も極めて少ないチラーです。 フロンガス等の冷媒を使用しておらず、環境に対する悪影響もありません。

従来のチラーに比べて消費電力はわずか10%~20%程度です。 温度応答性が良く、優れた温度安定性です。

NIKOLA 3K / 5K


Energy Efficient Temperature Control for Plasma Etch

NIKOLA 3K/5K は、最大 5500 W の冷却能力で ±0.05℃ の温度安定性を提供します。 従来のチラーに比べて消費電力は60%も削減できます。 駆動部は循環ポンプと冷却ファンの2つだけで、冷凍機を搭載していない為、高い信頼性と長寿命を誇ります。 NIKOLA 3K/5K は、消費電力を削減して、空調の消費電力も最大50%削減してフロンやその他冷媒を使用しない環境にやさしいチラーです。

アプリケーション

■ 主要エッチャーメーカーに対応
■ 光学・レーザーアプリケーション

仕様
モデル NIKOLA 3K NIKOLA 5K
温度範囲 -10℃~80℃
冷却能力 3000 W @20℃(冷却水温度20℃) 5000 W @20℃(冷却水温度20℃)
加熱能力 2000 W @25℃(冷却水温度20℃)
周囲温度 10℃~40℃ (相対湿度 10 %~80 %)
冷却方式 水冷式
温度安定性 ±0.05℃ 無負荷又は負荷一定時
循環液 Galden HT series、Fluorinate FC series, NOVEC 7000 series, 純水/エチレングリコール溶液
接続径 3/4” スウェジロック
ポンプ マグネットカップリングタービンポンプ
タンク 10 L  2段式レベルセンサー
接液部材質 アルミニウム、ステンレススチール、ポリマー
冷却水条件 25 L/min @7-25℃ pH6.5~8.2 
外寸法(WxDxH) mm 566 x 711 x 897
質量 136 kg
電源 3P、200-240 VAC、50/60 Hz、20 A max  (5K: 30 A max):
通信インターフェィス Lam analog, AMAT CHX、TEL UnityⅡ
警報 温度、水位、システムエラー(ディスプレイ表示、ドライコンタクト出力、インターフェイス出力)
規格 Semi S2-0200、F47compliant、CE、TUV listed to UL, CAN/CSA and EN 61010-1

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