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サーモエレクトリックチラー ThermoRack シリーズ Precision Thermal Control for Optimal Laser performance and Stability

小型で軽量、騒音・振動も極めて少ないチラーです。
フロンガス等の冷媒を使用しておらず、環境に対する悪影響もありません。

olidStateCoolingSystem 社のペルチェチラーは、冷凍機を搭載していないため、比較的小型で軽量、騒音・振動も極めて少ないチラーです。
フロンガス等の冷媒を使用しておらず、環境に対する悪影響もありません。
従来のチラーに比べて消費電力はわずか10%~20%程度です。温度応答性が良く、優れた温度安定性です。

ThermoRack 401 / 800

Precision Thermal Control for Optimal Laser performance and Stability

冷却能力 400 W の ThermoRack 401 / 冷却能力最大 900 W の ThermoRack 800 は、室温付近でさえも ±0.05℃ (ThermoRack1000 は ±0.1℃) の温度精度を維持します。 駆動部はわずか2か所なので静粛性が高く、低振動を実現し、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。 コアとなる電子温調モジュールは 200,000時間 を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。

ThermoRack 1000

SolidStateCoolingSystem 社のペルチェチラーは、冷凍機を搭載していないため、比較的小型で軽量、騒音・振動も極めて少ないチラーです。 フロンガス等の冷媒を使用しておらず、環境に対する悪影響もありません。温度応答性が良く、優れた温度安定性です。

Precision Thermal Control for Optimal Laser ,Analytical and Minitary Applications

冷却能力 1000 W の ThermoRack 1000 は、室温付近でさえも ±0.1℃ の温度精度を維持します。 駆動部はわずか2か所なので静粛性が高く、低振動を実現し、先進的光学・レーザー他、様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。 Leak-free構造で水溶液の他、PAO(Poly-Alpha-Olefin)やFluorinert / Galdenなどの非水溶液にも対応しています。

ThermoRack 1201

SolidStateCoolingSystem 社のペルチェチラーは、冷凍機を搭載していないため、比較的小型で軽量、騒音・振動も極めて少ないチラーです。 フロンガス等の冷媒を使用しておらず、環境に対する悪影響もありません。

従来のチラーに比べて消費電力はわずか10%~20%程度です。 温度応答性が良く、優れた温度安定性です。


The Ultimate Rack Mount Chiller for Plasma Etch

ThermoRack 1201 は、半導体製造工程のプラズマエッチングにおける温度制御チラーとして最適にデザインされています。 ペルチェモジュールによる熱電原理に基づいた温度制御方式で、素早い温度応答性と高い温度安定性で冷却/加熱を制御します。 ±0.05℃ の温度安定性でウエハー間、ロット間のバラつきを改善します (First wafer effectの削減)。 また消費電力も従来のチラーに比べ、最大93%削減できます。 駆動部はポンプと冷却ファンの2つだけなので、従来のチラーと比べて騒音、振動を低減して、故障によるシステムダウンも抑えられます。 19インチラックマウントタイプのコンパクトなデザインでクリーンルームの省スペース化ができます。