半導体用チラー：水冷式 SWX-100 SWX-100
装置メンテナンス時の循環液の戻り量に十分に対応可能なタンクを有し、
チラーの背面には予備接続口を３か所設けております。
なお、認証はCE Mark および SEMI S2、SEMI F47を取得しております。
チラーの背面には予備接続口を３か所設けております。
なお、認証はCE Mark および SEMI S2、SEMI F47を取得しております。
冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や工場水で冷却する、水と水による熱交換方式の循環冷却装置です。
最大100KW の冷却能力で±1.0℃の温度安定性を提供します。
