主催：SEMI ジャパン
会期：2022年12月14日(水)～12月16日(金)
会場：東京ビッグサイト東展示棟（〒135-0063 東京都江東区有明3-10-1）
ブース：No.1416
公式HP：https://www.semiconjapan.org/jp

↓来場者事前入場登録はこちらからお願いします↓
https://www.semiconjapan.org/jp/about/pricing-and-register

半導体製造装置用に設計・製造されたチラーをご紹介いたします。

・ThermoFisherScientific社のチラーは様々な装置に採用され信頼性の高い製品です。大きな冷却能力をもつ熱交換方式チラーやフッ素系循環液に最適なチラーをご用意しています。

・Solid State Cooling Systems社のペルチェチラーは高性能なペルチェデバイスと熱交換効率に優れたプレートヒートエクチェンジャーを搭載したコンパクトで省エネ効果が極めて高い製品です。今回はFAB向け製品を安心してご使用いただける保守プランをご紹介いたします。