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サーモエレクトリックチラー:薬液温調システム CleanStream Wide-Range temperature Control for 5-30 Gallon Semiconductor Chemical Tanks

ペルチェモジュールを用いたシステムで
洗浄薬液を ±0.05℃ で温度制御をおこないます。

Wide-Range temperature Control
for 5-30 Gallon Semiconductor Chemical Tanks

半導体製造の洗浄過程で使用される薬液の温度管理は製品の品質や生産性を左右する重要なファクターです。
Cleanstream は、ペルチェモジュールを用いたシステムで洗浄薬液を ±0.05℃ で温度制御をおこないます。
非常に小型のモジュールで、流路チューブをダイレクトに温度制御する方式ですので従来のタンクで薬液を温調するよりも10-30%使用量の削減が見込めます。
さらに動作部分がないシンプル構造のため振動・ノイズもなくメンテナンスがほとんど不要です。