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半導体製造装置用チラー:水-水熱交換式 SWX-100 SWX-100

冷凍機冷却システムを使用せず、
循環水で吸収した熱を水道水や工場水で冷却する、
水と水による熱交換方式の循環冷却装置です。

SWX-100 は、冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や工場水で冷却する、水と水による熱交換方式の循環冷却装置です。 最大 100 kW の冷却能力で ±1.0℃ の温度安定性を提供します。