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サーモエレクトリックチラー NIKOLA シリーズ Energy Efficient Temperature Control for Plasma Etch

最大5500Wの冷却能力で±0.05℃の温度安定性を提供します。
従来のチラーに比べて消費電力は60%も削減できます。

SolidStateCoolingSystem 社のペルチェチラーは、冷凍機を搭載していないため、比較的小型で軽量、騒音・振動も極めて少ないチラーです。 フロンガス等の冷媒を使用しておらず、環境に対する悪影響もありません。

従来のチラーに比べて消費電力はわずか10%~20%程度です。 温度応答性が良く、優れた温度安定性です。

NIKOLA 3K / 5K

Energy Efficient Temperature Control for Plasma Etch

NIKOLA 3K/5K は、最大 5500 W の冷却能力で ±0.05℃ の温度安定性を提供します。 従来のチラーに比べて消費電力は60%も削減できます。 駆動部は循環ポンプと冷却ファンの2つだけで、冷凍機を搭載していない為、高い信頼性と長寿命を誇ります。 NIKOLA 3K/5K は、消費電力を削減して、空調の消費電力も最大50%削減してフロンやその他冷媒を使用しない環境にやさしいチラーです。