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半導体製造装置用チラー:フッ素系溶媒 M-75 HFE M-75 HFE

フッ素系溶媒に対応したチラーです。
最大1600Wの冷却能力で ±0.15℃の温度安定性を提供します。

M-75 HFE は、フッ素系溶媒に対応したチラーです。 最大 1600 W の冷却能力で ±0.15℃ の温度安定性を提供します。 ステンレス製プレート式ヒートエクスチェンジャーとホットガスバイパス方式を採用することにより高い温度安定性と優れた温度レスポンスを実現しています。 液漏れのない配管及び継ぎ手を採用しており、さらにコンパクトなタンク容量を採用することにより高価なフッ素系不活性液体の使用量を抑えた設計になっています。