最大19.3 kWの冷却能力で、±0.5℃の温度安定性を持つ水冷式循環冷却装置です。
半導体製造工場のクリーンルーム内で要求されるSEMI規格に準拠するためのEMO(緊急停止ボタン)や
LOTO(電源の遮断固定、警告表示）などのオプションを標準装備しています。