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半導体製造装置用チラー:水冷式 MX500 MX500

最大19.3 kWの冷却能力で、±0.5℃の温度安定性を持つ
水冷式循環冷却装置です。
SEMI規格に準拠するためのEMOやLOTOなどオプションを標準装備しています。

MX500 は、最大 19.3 kW の冷却能力で、±0.5℃ の温度安定性を持つ水冷式循環冷却装置です。 半導体製造工場などクリーンルーム内で要求されるSEMI規格に準拠するための EMO (緊急停止ボタン) や LOTO (電源の遮断固定、警告表示) などオプションを標準装備しています。