ペルチェモジュールによる熱電原理に基づいた温度制御方式で、素早い温度応答性と高い温度安定性で冷却/加熱を制御します。
±0.05℃の温度安定性でウエハー間、ロット間のバラつきを改善します。(First wafer effectの削減）また消費電力も従来のチラーに比べ、最大93 %削減できます。
駆動部はポンプと冷却ファンの2つだけなので、従来のチラーと比べて騒音、振動を低減して、故障によるシステムダウンも抑えられます。
19インチラックマウントタイプのコンパクトなデザインでクリーンルームの省スペース化ができます。