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半導体用チラー:水冷式 NESLAB III (SYSTEM III)

PVD装置用専用チラーで、装置メンテナンス時の循環液の戻り量に
十分に対応可能なタンクを有しております。

NESLAB IIIは冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や工場水で冷却する、水と水による熱交換方式の循環冷却装置です。
最大50 kWの冷却能力で±1.0℃の温度安定性を提供します。