主催：SEMI ジャパン
会期：2023年12月13日(水)～12月15日(金)
会場：東京ビッグサイト東展示棟（〒135-0063 東京都江東区有明3-10-1）
ブース：No.5837
公式HP：https://www.semiconjapan.org/jp

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半導体製造装置用に設計・製造されたチラーを展示いたします。

・Solid State Cooling Systems社のペルチェチラーは高性能なペルチェデバイスと熱交換効率に優れたプレートヒートエクスチェンジャーを搭載したコンパクトで省エネ効果が極めて高いチラーです。

・Thermo Fisher Scientific社のチラーは様々な装置に採用され信頼性の高い製品です。大きな冷却能力をもつ熱交換方式チラーやフッ素系循環液に最適なチラーをご用意しています。